엑셀 자동화프로그램, 업무양식 및 자료

A. 작성, 검토 및 승인

󰍽 문서 식별

󰍾 본 품질지침서는 강하넷(주)의 품질경영 방침에 따라 다음 책임자에 의해 작성(개정), 검토 및 승인이 되어야 효력이 있다.

󰍿 합 의

󰎀 회 람

B. 목차 및 개정 현황

목적

이 지침은 고객으로부터 의뢰 받은 세라믹 제품의 인수 및 분류 작업이 완료되어 당사 가공 공정을 진행하기 전 검사를 실시하여 적합한 부품만이 고객에게 제공되도록 하는데 목적이 있다.

적용범위

이 지침은 고객으로부터 의뢰 받은 세라믹 제품의 인수 및 분류 작업이 완료되어 당사 가공 공정을 진행하기 전 검사기준에 적용한다.

용어의 정의

세라믹 부품

반도체 확산공정 중 건식식각 설비 장치 내에서 웨이퍼가 전기적으로 중성인 위치에서 식각이 되어지도록 웨이퍼를 절연시킴과 동시에 웨이퍼를 기계적으로 홀드 시키는 역할을 하는 부품들과 세라믹으로 제조된 그 부속 부품들을 칭한다.

금속오염

반도체 프로세스상 건식 식각에는 주로 산화막, 폴리막, 텅스텐박막및 알루미늄과 그 합금물이 선택적으로 에칭된다. 이런 목적으로 동일메이커에, 동일 종류의 설비라 할지라도 적용 프로세스 상 금속을 에칭하면 금속식각장치, 비금속을 에칭하면 비금속식각장치로 대별되며, 반응 개스들이 금속에는 플루오린계가, 비금속에는 염소계나 브롬화물이 사용되며 이것이 교차하여 사용될 때 발생되는 오염을 금속오염이라 한다.

책임과 권한

생산부서장

검사자의 교육훈련 실시

부적합품에 대한 시정조치 및 처분

부적합품의 보관 및 보존

검사자

해당 공정의 제품에 대한 검사활동

부적합품의 식별관리

부적합품 처분의 확인 또는 재검사 실시

업무절차

검사기준

육안 검사기준 (1차 검사 내용)

확대경/현미경에 의한 검사기준 (2차 검사 내용)

기록

작업자는 육안 검사 기준에 의해 점검된 내용을 Run Sheet와 수입검사성적서(첨부 1)에 기록하고 이상내용에 대해 감독자에게 보고한다. 보고를 받은 감독자는 작업의 진행 여부를 고객에게 유선 또는 업무연락을 통해 작업의 진행여부나 반품처리 여부를 결정한다.

반품처리

인수 및 인수 후 검사의 결과에 따른 제품의 처리는 아래와 같이 한다.

작업진행으로 결정된 경우

기존 공정으로 작업을 진행한다.

반품으로 결정된 경우

적색Tag에 "반품"으로 표기하고 포장지에 넣어 진공포장을 하지 않고 테입으로 봉입한 후 작업된 1Set분의 양품과 함께 반품시킨 다음 반입자의 확인을 받는다.

품질기록

본 지침서에 따라 업무를 수행하는 도중 발생되는 기록은 기록관리 절차서(문서번호 : P-MS-3)에 따라 기록되고 유지되어야 한다.

관련문서

기록관리 절차서 (문서번호 P-MS-3)

첨부

수입검사 성적서 (첨부 1)

Email : kangha@daum.net