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강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
   △ : 보통
                   X : 현재 불가능
공정 별 현수준 대표 품목 대책
CVD (C) PLATE PERF COMMON  
(C) PLATE, BLOCKER  
(C) UPPER DOME  
(C) CERMIC COVER  
(C) COLLER MIN CONTACT 200  
(C) SHIELD  
(C) WAFER LIFT  
(C) PUMPING PLATE  
(C) PLATE WINDOW ITVSERT  
(C) ISOLATOR CERAMIC PRO 200MM  
(C) CERAMIC PUMPING INSERT TOP  
(C) PRODUCER FACE PLATE  
(C) CERAMIC PUMPING INSERT MID  
(C) CERAMIC PUMPING INSERT BTM  
(C) BLOCKER  
(C) GAS BOX EXTENSION  
(C) Manifold  
(C)SHIELD(P-5000)  
(C) CERAMIC FORK ASSY  
(C) VRB SHIELD 8"  
강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
   △ : 보통
                   X : 현재 불가능
공정 별 현수준 대표 품목 대책
METAL (C) Altus Shower Head  
(C) MOER RING JOEDIA  
(C) ONE BODY CLAMP  
(C) SHIELD CYLINDER  
(C) DARK SPACE SHIELD  
(C) SHIELD DEPOSITION  
(C) SHIELD SUPPORT  
(C) SHIELD DARK SPACE  
(C1) SHIELD DARK SPACE  
(C) SHIELD CHAMBER BOTTOM  
C) CAP TABLE SHELD  
DIFFUSION (C) QUARTZ TUBE  
BOAT  
INNER TUBE  
OUTER TUBE  
SIC SUSCEPTOR  
SHOWER HEAD  
IIP (C) FIGHT TUBE,AL,IMPLANT  
강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
   △ : 보통
                  X : 현재 불가능
재질 별 현수준 대표 품목 이 유
CERAMIC (C2) SHIELD RING T5    
(C) DOME CERAMIC DPS    
(C) Ring Capture    
(C) Ring Focus    
(C) Gas Nozzle,Housing    
(C) Gas Nozzle,Plug     
(C) Ceramic Inner Point    
(C) INERPOSER RING    
(C) WAFER CENTER RING    
(C) HEAD-SHOWER    
(C) SSGD Inner    
(C) SSGD Outer    
(C) Focus Ring 195mm     
(C) Ring High Wall 8"    
(C) Ring Focus ESC 8"    
(C) Single Ring Ceramic    
(C) Ring Confinement     
(C) CERAMIC FILLER RING    
(C) CERAMIC INNER POINT    
(C) Ring Capture    
(C) UPPER DOME    
(C) CERMIC COVER    
(C) COLLER MIN CONTACT 200    
(C) SHIELD    
(C) WAFER LIFT    
(C) PUMPING PLATE    
(C) ISOLATOR CERAMIC PRO 200MM    
(C) CERAMIC PUMPING INSERT TOP    
(C) CERAMIC PUMPING INSERT MID    
(C) CERAMIC PUMPING INSERT BTM    
(C)SHIELD(P-5000)    
(C) CERAMIC FORK ASSY    
(C) MOER RING JOEDIA    
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   ○ : 잘함
   △ : 보통
                   X : 현재 불가능
재질 별 현수준 대표 품목 대책
AL (C2) SHIELD RING T5  
(C) DOME CERAMIC DPS  
(C) Ring Capture  
(C) Ring Focus  
(C) Gas Nozzle,Housing  
(C) Gas Nozzle,Plug   
(C) Ceramic Inner Point  
(C) INERPOSER RING  
(C) WAFER CENTER RING  
(C) HEAD-SHOWER  
(C) PLATE PERF COMMON  
(C) PLATE, BLOCKER  
(C) PLATE WINDOW ITVSERT  
(C) PRODUCER FACE PLATE  
(C) BLOCKER  
(C) GAS BOX EXTENSION  
(C) Altus Shower Head  
SHOWER HEAD  
(C) FIGHT TUBE,AL,IMPLANT  
(C) VRB SHIELD 8"  
(C) Manifold  
SUS (C) ONE BODY CLAMP  
(C) SHIELD CYLINDER  
(C) DARK SPACE SHIELD  
(C) SHIELD DEPOSITION  
(C) SHIELD SUPPORT  
(C) SHIELD DARK SPACE  
(C1) SHIELD DARK SPACE  
(C) SHIELD CHAMBER BOTTOM  
C) CAP TABLE SHELD  
강하넷 진단 Report           ◎ : 매우 잘함
   ○ : 잘함
   △ : 보통
                   X : 현재 불가능
재질 별 현수준 대표 품목 대책
ANODIZING (C) UPPER CHAMBER(메탈)    
(C) Upper Chamber DPS-Poly    
(C) UPPER CHAMBER ASS'Y    
(C) MXP+ LINE    
(C) Housing    
(C) LINER, DGDP, CHMBR    
(C) LINER, CATH, MAGNET    
(C) DOOR, SLIT V/V DOOR    
(C) PLATE BAFFLE(CDRM2)    
(C) CAHTODE LINER MXP+    
(C) MXP+ LINER (WALL LINER)    
(C) MANOMETER WINDOW    
(C) EPD WINDOW    
(C) AL,EXHAUST BAFFLE    
(C) CHUCK AL    
(C) UPPER ELEC, AL6061    
(C) LOWER ELEC, AL6061    
(C) END CAP PLATE    
(C) TGV LOCKING RING    
(C) TGV PENDDLERUM V/V    
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   ○ : 잘함
   △ : 보통
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재질 별 현수준 대표 품목 대책
QUARTZ (C) Ring Confinement Top  
(C) Ring Confinement Bottom  
(C) Ring QUARTZ Upper  
(C) SHADOW RING QUARTZ 200  
(C) UNI INSERT GAS QUARTZ 200  
(C) Quartz Cover Ring  
(C) QUARTZ TUBE  
BOAT  
INNER TUBE  
OUTER TUBE  
(C) Ring  
GRAPHITE SIC SUSCEPTOR  
(C) SUPER BOLTED LOWER  








 

 

 

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프로세스 체크리스트

프로세스 체크리스트

검토

부서장

이사

대표이사

 

 

 

 

감사사유

 정기감사  신제품개발  설계변경  공정변경

공 정 명

 

신제품개발시

설계변경시

공정변경시

품 명

 

규 격

 

감 사 일

 

감 사 자

부서장 :

 

측 정 항 목

감 사 결 과

감사의견 및 관찰상태

A

B

C

D

E

F

1)고객요구 식별, 기록의 명확성

 

 

 

 

 

 

 

2)고객요구 전달체계의 효과성

 

 

 

 

 

 

 

3)고객요구 충족계획의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

4)검사기준, 작업표준,공정도의 적합성

 

 

 

 

 

 

 

5)사용 생산설비의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

6)사용 계측장비의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

7)자격부여기준의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

8)제품 관리인원 능력의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

9)작업인원 배치의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

10)작업조건, 관리주기의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

11)공정변수 취급의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

12)제품 관리항목 선정의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

13)공정관리 방법, 기법의 효과성

 

 

 

 

 

 

 

14)관리데이터의 효용성

 

 

 

 

 

 

 

15)사양, 공정변경요인 취급상태

 

 

 

 

 

 

 

16)작업수행환경의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

17)프로세스의 관련법규 적합성

 

 

 

 

 

 

 

18)창고 보관환경의 적정성

 

 

 

 

 

 

 

19)출하제품의 품질상태

 

 

 

 

 

 

 

20)출하제품의 식별, 포장상태

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

A : 고객요구에 적합, 매우 효과적임(5)

B : 고객요구에 적합, 효과성 있음(3)

C : 고객요구에 적합, 효과성제고 필요(1)

D : 고객요구에 부분적 미흡, 효율적임(-1)

E : 고객요구 및 효율성에 부분적 미흡(-3)

F : 고객요구에 부적합/전반적 미흡(-5)

강하넷 KH-705-02 (REV.0)

 

 

 

 

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환경경영시스템 모니터링 및 체크리스트

모니터링 체크리스트

쪽 번 호

Page

1 / 4

 부 서 명

:

 

 

점 검 분 야

환경경영시스템

점 검 일

 

점 검 대 상

현장 측면상태 / 이행

점 검 자

 

점 검 항 목

점검결과

객관적 사실

양호

불량

1

환경방침, 목표에 대해 직원들이 이해하고 있는가?

 

 

2

환경방침은 공개되고 이해관계자가 이용 가능한가?

 

 

3

현장 환경계획서는 수립되고 최신판으로 유지되고 있는가?

 

 

4

세부목표에 대한 달성방안은 현실적으로 실행 가능한가?

 

 

5

달성방안별 추진담당자는 적합하고 책임과 권한은 분명한가?

 

 

6

세부목표 달성방안은 정상적으로 실행하고 달성 가능한가?

 

 

7

환경영향평가 및 등록부작성은 하였는가?

 

 

8

주요 환경관련 법규 및 기타 요구사항을 숙지하고 있는가?

 

 

9

환경관련 문서 및 기록의 Filing 상태는 적절하며 관리하고 있는가?

 

 

10

이해관계자의 의사소통 체계는 적합하고 원활히 수행되고 있는가?

 

 

11

환경관련 교육계획 및 이행에 대한 근거 자료는?

 

 

12

비상사태(화재, 풍수해등) 대응절차는 적합하게 수립 되었는가?

 

 

13

비상사태 대응 훈련실시 및 대처방법은 숙지하고 있는가?

 

 

14

설계변경, 공법변경으로 신규환경 영향에 대하여 환경영향평가/등록 관리되고 있는가?

 

 

15

환경관리계획은 수립되었으며 관리 및 작업기준은 준비 되었는가?

 

 

16

점검 및 측정에 대한 절차와 기록유지 관리는?

 

 

17

측정장비의 검교정관리는 하고 있는가?

 

 

18

부적합, 시정조치 및 예방조치 절차는 수립되었는가 ?

 

 

19

환경기록서의 식별, 보관, 관리상태는?

 

 

20

사건/사고 및 민원에 대한 보고 및 기록 관리는?

 

 

21

환경요인별 측정항목, 주기, 방법등은 설정 되었는가?

 

 

조치 담당 동의

 

부서장

 

KP503-2(REV.0) 강하넷

모니터링 체크리스트

쪽 번 호

Page

2 / 5

 부 서 명

:

 

 

점 검 분 야

환경경영시스템

점 검 일

 

점 검 대 상

비상계획점검

점 검 자

 

점 검 항 목

점검결과

객관적 사실

양호

불량

1

비상사태에 대비한 계획을 작성 하였는가?

 

 

2

비상사태 발생요인 파악과 시나리오 작성은?

 

 

 

비상계획서는 다음 사항을 포함하고 있는가?

 

 

 

 

 대피계획

 

 

 

 비상장비의 위치

 

 

3

 비상시 연락처(연락망)

 

 

 

 현장상세도

 

 

 

 응급조치요령

 

 

 

 비상사태시의 환경피해 최소화 방안

 

 

4

비상계획을 직원, 협력업체직원등이 숙지하고 있는가?

 

 

5

비상시 사용할 장비는 준비되었으며 사용 방법에 대한 교육, 훈련 근거는?

 

 

 

 

 

 

6

화재관련 장비는 규정에 맞게 확보, 설치되었는가?

 

 

7

비상장비 및 설비의 정기보수와 점검이 이루어지고 있는가?

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

조치 담당 동의

 

부서장

 

 

 부 서 명

:

 

 

점 검 분 야

운영절차관리

점 검 일

 

점 검 대 상

폐기물

점 검 자

 

점 검 항 목

점검결과

객관적 사실

양호

불량

1

쓰레기는 분리수거함에 수집하고 있으며 재활용/가연성/불연성으로 구분하는가?

 

 

 

 

 

 

 

2

음식물쓰레기등은 전문처리업체에 의해 처리 되고 있는가?

 

 

3

일반폐기물과 지정폐기물은 분리수집하는가?

 

 

4

위탁처리시 환경법규 준수를 규정대로 처리하는가?

 

 

5

폐기물 발생량 및 관리대장은 비치하고 기록 유지하는가?

 

 

6

폐기물관리 절차서를 협력업체 및 관련 직원에게 철저히 주지시키고 있는가?

 

 

 

 

 

 

7

폐기물 발생신고는 하였는가?

(1 300이상, 1주일 1톤이상 배출시)

 

 

8

폐기물처리 계획, 절차는 수립되었는가?

 

 

9

폐기물의 저감대책은 수립하였는가?

 

 

10

생활폐기물의 감소와 분리수거 및 재사용에 대한 계획수립과 이행관리 상태는?

 

 

11

폐기물의 보관, 운반, 처리방법의 계획 수립은?

 

 

12

폐기물감소와 환경관리계획서의 목표달성을 위한 교육 근거는?

 

 

13

폐기물감소와 환경관리계획서의 목표달성을 위한 교육 근거는?

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

조치 담당 동의

 

부서장

 

KP503-2(REV.0) 강하넷

모니터링 체크리스트

쪽 번 호

Page

4 / 4

 부 서 명

:

 

 

점 검 분 야

에너지 및 자원절약

점 검 일

 

점 검 대 상

에너지 및 자원

점 검 자

 

점 검 항 목

점검결과

객관적 사실

양호

불량

1

에너지 및 자원절약에 대한 규정, 방법등은 수립하였는가?

 

 

2

에너지 및 자원절약의 목표관리는?

 

 

3

계획대비 실적의 검토관리는?

 

 

4

에너지 절약운동은 정량적으로 관리, 추진 되는가?

 

 

5

분리수거함은 지정장소에 설치하였으며 관리되고 있는가?

 

 

6

재활용/가연성/불연성으로 구분, 수집 및 보관하고 있는가?

 

 

7

분리수거 보관 및 식별표시와 담당자 선정은 하였는가?

 

 

8

분리수거 및 재활용처리업체는 지정되었으며 관리되고 있는가?

 

 

9

재활용품에 대한 식별 및 교육 숙지상태는?

 

 

10

분리수거함은 규정에 맞게 설치되었는가?

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

조치 담당 동의

 

부서장

 

KP503-2(REV.0) 강하넷

 

 

 

 

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