엑셀 자동화프로그램, 업무양식 및 자료

JP406-1(REV.0) 강하넷

  부품 공급자는 검사 대상품 입고시 검사실로 이동 시키고  

  거래명세표와 검사 성적서를 첨부 하여 수입 검사를 의뢰한다

  구매팀은 입고 부품에 대한 기본 기준을 수립한다.

품질부서는 공정검사 부품검사에 대한 기준을 수립한다.

  품질 담당자는 수입검사시 해당표준(도면,관리계획서,검사기준서)에 

   의거하여 검사를 실시한다

 수입검사품의 처리 

  1) 적합품

    검사 결과 합격된 원,부자재에 대하여 자재 창고 및 현장에 입고 한 후

   2)부 적합품 

     부적합 판정된 원·부자재는 부적합품 관리 프로세스에 따른다.

  * 수입검사 전 긴급 투입품의 처리는 본 프로세스 일반사항 참조

 품질관리 담당자는 당사 SAMPLE 작업시 공정 검사를 실시한다

   - 부적합 발생시 부적합품 처리 프로세스에 따른다

  작업 표준서, 관리계획서 기준으로 자주검사 실시

   -부적합 발생시 부적합품 관리 프로세스에 따른다.

   생산 (검사) 완료된 제품 처리

    - 적합품

       자재 관리 프로세스에 따라 처리

      부적합품 관리 프로세스에 따라 처리

  금형 출하 전 최종 검사 의뢰접수

 최종 검사품의 처리

  1) 적합품 

도면과 부품list를 참조하여 부품 및 금형을 검사한다.

  2) 부 적합품

부품 누락되거나 치수가 일치하지 않을시 즉각적인 조치가 이루어져야 한다.

 (일반사항)

  1.검사 및 시험 업무의 외부 의뢰 

     검사자는 다음의 사항에 대해 사외 기관에 측정을 의뢰한다

      1) 사내 측정실 측정장비로 측정할 수 없거나 고객이 요구할 경우

      2) 권위 있는 외부기관에서의 측정결과와 자체 측정결과를 비교 및 확인하고자 할 경우

  2.긴급투입품의 처리

      1) 불가피하게 수입검사 실시전이나 검사 중에 사용되어야 하는 긴급자재나 외주부품에 대해서는 생산팀장이  해당 자재                                    

          또는 외주부품에 "긴급자재"라고 식별 TAG를 부착하여 생산에 투입한다.

      2) 관리팀은 해당 제품이 고객에게 공급되기 전에 검사가 실시될 수 있도록 별도의 검사용 샘플을 보관하고 

          긴급사용자재목록을 작성하여 품질팀에 통보 한다.

      3) 긴급 사용 자재가 수입검사 불합격 판정 시 즉시 생산 중단, 출하금지 조치하고 식별하여 

          부적합품관리프로세스(DEQP-805)에 의해 처리한다. 

 3. 최종금형검사

      1)금형출하 직전에 금형의 품질 및  외관상태를 점검하기 위하여 검사자는 이일 출하 요청서상에 다음사항을 확인하여 원본

         검사 CHECK SHEET에 준하여 금형외관,  LABEL상태를 점검하고 기록은 유지 관리되어야 한다.

          가) 금형외관상태        

          나) 부품식별표의 부착상태 및 부품식별표의 내용과 금형과의 일치성

          다) 금형의 외관품질 등의 외관 확인가능 항목

      2)생산팀장은 금형 출하를 위하여 현장으로부터 금형 불출 시 품질팀장이 지정한 금형에 대해서는  최종검사를 받아야 한다.

      3)품질팀장은 금형 출하 직전에 금형외관 상태 등의 손상여부를 확인하여야 하며 그 기록은 일일 출하 요청서상에 서명 날인하여

         합격된 금형임을 식별 기록하여야 한다.                          

     *.장기재고(1년이상)보관품은 년2회 평가, 관리하며, 부적합품은 부적합품 관리 프로세스에 따라 처리한다.  

  4. 정밀검사 및 신뢰성시험

   1) 품질팀장은 고객과 협의된 정밀검사주기에 따라 해당제품에 대한 검사를 실시하고 그결과를 고객요구양식에 기록하여 고객에게 통보하여야 한다.

   2) 고객과 협의된 신뢰성 시험 주기에 따라 최종검사에서 합격된 제품 중에서 시험 항목별로 규정된 수량을 랜덤 샘플링하여

     시험을 실시하고 그 결과를 고객 검사기준서에  기록하여 고객에게 제출하여야 한다.

   3) 품질팀장은 신뢰성 시험 결과 안전 및 법규로 지정된 항목에 대한 부적합 사항 발생 시 제품식별에  따라 문제제기되는 금형을

       파악하고 대표이사에게 보고하여 조치토록 한다.

  5.종합보고

      1) 품질팀장은 공정·최종검사에 대한 품질현황을 종합 집계하여 각 업체및 PART 담당자에게 보고한다.                                    

      2) 품질팀장은  P/J-EVENT마다 품질회의를 실시하여 EVENT마다 품질현황을 발표하고 중요 부적합품에 대한 개선대책을

        시정조치 및 예방조치 프로세스(QP-807)에   따라 해당부서에 요구한다

  6.검사자에 대한 교육 훈련.

      품질팀장은 교육 훈련 관리 프로세스 (QP- 601) 에 따라 검사자에 대한 교육 훈련을 실시하고 검사자 자격을 부여하여 관리한다.    

1.목적                                                                               

   이 규정은 고객들로부터 재처리 의뢰된 세라믹 부품들에 대해 당초 그 사용     

   목적에 따라 라인별, 설비별로 구분 하여 당사의 처리공정을 적용 시킴으로서

   제품간 혼입을 방지 하는데 있다.                                 

2.용어의 정의

 가.세라믹 부품

   반도체 확산공정 중 건식식각 설비 장치 내에서 웨이퍼가 전기적으로 중성인  위치에서 식각이 되어지도록 웨이퍼를 절연시킴과 동시에 웨이퍼를 기계적으 로 홀드 시키는 역할을 하는 부품들과 세라믹으로 제조된 그 부속 부품들을  칭한다.

 나.금속오염

   반도체 프로세스상 건식 식각에는 주로 산화막, 폴리막, 텅스텐박막및 알루미늄과 그 합금물이 선택적으로 에칭된다. 이런 목적으로 동일메이커에, 동일   종류의 설비라 할지라도 적용 프로세스 상 금속을 에칭하면 금속식각장치,  비금속을 에칭하면 비금속식각장치로 대별되며, 반응 개스들이 금속에는 플루오린계가, 비금속에는 염소계나 브롬화물이 사용되며 이것이 교차하여 사용 될때 발생되는 오염을 금속오염이라 한다.                                                           

 다.금속 식각

   주로 알루미늄, 알루미늄의 합금, 티탄 나이트라이드, 텅스텐 등을 염소계   개스나 브롬화계 개스를 사용해서 선택적으로 식각을 하는 공정을 말한다.                  

 라.비금속 식각  

   주로 열산화막, 기상 성장된 산화막, 폴리실리콘 박막과 옥시 나이트라이드  박막을 플루오린계 개스를 사용해서 선택적으로 식각 하는 공정을 말한다.           

  마.분리작업

    의뢰되어진 세라믹 부품들을 라인별, 설비별로 구분하여 혼입을 방지하는

    준비 작업을 말한다.

 바.솔브러쉬

    의뢰되어진 세라믹 부품의 초기 파티클을 제거하기 위하여 부드러운 재질로 된 치공구를 말한다.

3.작업의 방법 

 가.세라믹 부품들은 고객들로부터 인수 단계에서 사용된 설비와 수량을 파악하고, 라인별로 구분하여 운송박스에 분리하여 인수한다.                                        

 나.라인별로 분리되어진 부품을 설비별로 구분하는 방법은 별도의 운송 가방을  사용하며 설비별로 구분하는 방법은 Tag를 붙여 사용한다.

    예) 라인별 색상지정

       6Line-붉은색,  7Line-푸른색,  8Line-노랑색,  9Line- 흰색

       푸른색 테그 위에 "Metal" 표기 ▶▶ 7Line의 메탈설비

 다.운송가방에서 조심스럽게 제품을 꺼내어 비닐봉지 안에서 솔브러쉬를 이용 하여 가볍게 털어 낸다. 이때 Particle에 의해 주변이 오염되지 않도록 주의 한다.

 라.처리 의뢰 되는 부품들은  다른 기계장치의 부품들과 혼입이 되지 않도록 주의한다.

 바.제품분류가 완료되면 제품별 Run구성 요건에 맞추어 Split 하여 Run-NO를 부여하고 그 결과를 별첨) RUN관리대장(서식:WW-PS-001)에 기록한다.

4.Run-NO부여 기준

 가.열분해 공정의 설비 1회 작업량으로 Split하여 부여함.

 나.제품별 1회 작업량

 다.Run-NO 부여원칙

    K  M  08  -  001  -  C  A

 5.제품의 이동

  Rnn구성이 완료된 제품은 Vinyl  Carrier에 담아서 RUN-SHEET와 함께  다음공정으로 이동한다

 6.별첨

  Run관리대장(서식 : WW-PS-001)                          

 RUN 관리대장